Intérêt de la pulvérisation cathodique magnétron assistée par laser pour la réalisation de surfaces superhydrophobes ajustables

Laser assisted magnetron sputtering : an innovative deposition method to design tunable superhydrophobic surfaces

• Auteur / Autrice : Claude Becker
• Direction : Aziz Dinia, David Ruch
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences des matériaux
• Date : Soutenance le 23/09/2013
• Etablissement(s) : Strasbourg en cotutelle avec Centre de recherche public Henri Tudor (Luxembourg)
• Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Physique et chimie-physique (Strasbourg ; 1994-....)
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Institut de physique et chimie des matériaux (Strasbourg)
• Jury : Président / Présidente : Marie-Pierre Krafft
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Eric Millon
• Jury : Rapporteurs / Rapporteuses : Vincent Roucoules, Anne-Lise Thomann

Mots clés

Mots clés contrôlés

Polymérisation sous plasma

Mouillage (chimie des surfaces)

Plasmas produits par laser

Lasers à excimère

Pulvérisation cathodique

Mots clés libres

Superhydrophobicité

Laser

Pulvérisation magnétron

Microstructure

Photo-ablation

Mouillage

Superhydrophobicity

Laser

Magnetron sputtering

Microstructure

Photoablation

Wetting regime

Résumé

Ce projet de thèse entre dans le cadre de nombreux développements réalisés au sein du département Advanced Materials and Structure (AMS) du Centre de Recherche Public Henri Tudor (CRP-HT) dédiés aux activités "Surfaces & Interfaces" et consiste à développer une technique de dépôt innovante basée sur l'association de différents lasers (Nd : YAG et Excimère) et d'un système de pulvérisation cathodique magnétron dans le but d'élaborer des surfaces superhydrophobes. L'association des techniques permet de contrôler la microstructure de plusieurs substrats par ablation laser et de déposer simultanément un polymère plasma fluoré par pulvérisation magnétron à partir d'une cible PTFE. Par le biais de cette association, il est possible d'obtenir non seulement des propriétés superhydrophobes sur un grand nombre de substrats mais également de contrôler précisément les régimes de mouillages.

In this work, the development consisted in combining magnetron sputtering with a Nd-YAG or excimer lasers to provide additional properties to the deposited plasma polymer films. These both techniques are totally complementary, according to technical requirements, and provide an enhancement in the control of surface / interface chemical composition and structure leading to advanced properties. The innovative deposition technique developed in our laboratory, based on Laser-Assisted Magnetron Sputtering (LAMS), evidenced novel possibilities. lndeed, we especially highlighted the opportunity to control various polymer substrates patterning simultaneously to the plasma polymer deposition process. One of the most interesting results concerns the achievement of superhydrophobic properties on various polymer substrates with a high control in the wetting regime.