Anne-Lise Thomann
Mots clés
FR |
EN
Magnétrons
Pulvérisation cathodique
Couches minces
Couches minces métalliques
Tungstène
Plasmas (gaz ionisés)
Pulvérisation magnétron
Magnétron
Oxyde de titane
Défauts lacunaires
HiPIMS
Spectrométrie de masse
Surfaces (technologie) -- Analyse
Plasmas froids
Cible chaude
Nickel -- Couches minces
Pulvérisation cathodique -- Applications industrielles
IPVD
Cuivre
Polymère