Conception réalisation et caractérisation de structures micro-usinées sur silicium : applications aux micro-systèmes millimétriques
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Auteur / Autrice : | Katia Grenier |
Direction : | Jacques Graffeuil, Patrick Pons, Robert Plana |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Électronique |
Date : | Soutenance en 2000 |
Etablissement(s) : | Toulouse 3 |
Mots clés
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