Patrick Pons
Mots clés
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Systèmes microélectromécaniques
Encapsulation (électronique)
Assemblage
Microtechniques
Commutation (électricité)
Micro-usinage
Mems
Pression
Capteurs de pression
Membranes (technologie)
Modélisation
Contraintes (mécanique)
Capteurs piézoélectriques
Pompes à getter
Radar FMCW
Transduction électromagnétique
Rugosité
Intégration hétérogène
Adhésion/Adhérence
Traitement plasma