Etude du panache créé lors de l'interaction entre le faisceau d'un laser U. V. Et une cible de carbone. Application à la réalisation de couches minces

Study of the interaction between an uv laser beam and a graphite target. Application to the elaboration of thin films

• Auteur / Autrice : Chantal Germain
• Direction : Alain Catherinot
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Chimie. Chimie - Physique
• Date : Soutenance en 1993
• Etablissement(s) : Limoges
• Partenaire(s) de recherche : Autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Mots clés

Mots clés contrôlés

Panaches (dynamique des fluides)

Matériaux

Carbone -- Couches minces

Couches minces

Résumé

Ce travail concerne l'etude du transport des especes dans le plasma cree au-dessus de la surface de la cible lors de l'interaction laser ultraviolet-cible massive de carbone, la realisation et la caracterisation de couches minces de carbone. Il se divise en six parties: 1) le premier chapitre presente une revue des differentes techniques d'elaboration des couches carbone et les proprietes de ces dernieres; 2) le second chapitre est consacre a la description des dispositifs experimentaux utilises lors de l'analyse du panache et la realisation des films; 3) les chapitres trois et quatre concernent l'etude du panache plasma, ce qui constitue une etape necessaire en vue de comprendre et de maitriser la phase de depot. Dans le chapitre 3 sont presentes les resultats de l'analyse de la plume plasma par spectroscopie optique d'emission resolue temporellement et spatialement. Le chapitre 4 est, quant a lui, consacre a l'etude du courant induit par les charges presentes dans le panache, ce qui nous permet de formuler des hypotheses sur la structure du panache; 4) le cinquieme chapitre, grace a une comparaison et une synthese des resultats obtenus lors de l'analyse du panache, apporte des informations sur les phenomenes intervenant lors de l'expansion de la plume plasma; 5) enfin, dans le dernier chapitre, nous presentons l'evolution des caracteristiques des films (epaisseur, adherence, transmission infrarouge, pourcentage de liaisons sp#3, durete) en fonction des parametres experimentaux (en particulier le couple (fluence, temperature))