Alain Catherinot
IdRefMots clés
FR
Couches minces
Panaches (dynamique des fluides)
Plasmas microondes
Ablation laser (fabrication)
Alumine
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Carbone -- Couches minces
Composites
Agrégats métalliques
Carbone amorphe
Laser excimere ablation
Raman ellipsométrie
XPS impédancemétrie
Explosion de phase
Systèmes microélectromécaniques
Spectroscopie d'émission
Faisceaux laser
Matériaux
Filtre bibande
Omux