Détection et localisation de défauts dans les circuits intégrés logiques par test sous faisceau laser

Detection and localisation of defects in digital integrated circuits by laser probing

• Auteur / Autrice : Bertrand Simonin
• Direction : Yves Danto
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences
• Date : Soutenance en 1988
• Etablissement(s) : Bordeaux 1
• Partenaire(s) de recherche : Autre partenaire : Université Bordeaux-I. Faculté des sciences (1971-2013)
• Jury : Président / Présidente : Yves Bernard
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Yves Danto, Yves Bernard, Jean-Paul Dom, Yves Danto, J.P. Collin, Jean-Louis Aucouturier, Jean-Yves Le Traon, Jean-Michel Chassériaux, André Mora

Mots clés

Mots clés contrôlés

Mise au point

Défauts électriques -- Localisation

Faisceaux laser

Photoconductivité

Circuits intégrés numériques

Résumé

Ce travail consiste en la recherche des possibilités d'utilisation, comme moyen de test de circuits intègres, de l'effet photoélectrique induit par un faisceau laser. La partie expérimentale comporte la réalisation d'une station de mesure, sa mise au point optique, électronique, ainsi que la conception de son informatique de commande. L'étude et la modélisation de l'interaction rayonnement-semiconducteur a apporté des éléments d'explication aux réponses des circuits a l'excitation lumineuse. Une évaluation approfondie du comportement de circuits de diverses technologies a été effectuée pour des fonctionnements en tension marginale et vis-à-vis de l'auto-amorçage (latch-up). Les conclusions ont permis de définir des procédures significatives de test.