Recherche Avancée

Thèse en cours

Modélisation multi-échelle de la gravure du silicium par plasma fluoré à couplage inductif

FR
Auteur / Autrice : Yehya Haidar
Direction : Ahmed Rhallabi, Fadia Jaher
Type : Projet de thèse
Discipline(s) : Chimie des matériaux
Date : Inscription en doctorat le 20/11/2012
Etablissement(s) : Nantes en cotutelle avec Université Libanaise de Beyrouth
Ecole(s) doctorale(s) : Matière, Molécules Matériaux en Pays de la Loire (Nantes)