Miniaturisation des analyseurs d'oxygène et le développement de microcapteurs d'oxygène pour l'industrie
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Auteur / Autrice : | Amira Benayache |
Direction : | Khalifa Aguir |
Type : | Projet de thèse |
Discipline(s) : | Sciences pour l'ingénieur : spécialité Micro et Nanoélectronique |
Date : | Inscription en doctorat le 19/04/2022 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale Sciences pour l'Ingénieur : Mécanique, Physique, Micro et Nanoélectronique (Marseille) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : IM2NP - Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence |
Mots clés
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Mots clés libres
Résumé
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Le projet de thèse porte sur l'étude de la miniaturisation des analyseurs d'oxygène et le développement de microcapteurs d'oxygène pour l'industrie. Un contrat de collaboration de recherche a été signé. Il est divisé en trois grandes phases : la conception du nouveau design du microcapteur d'oxygène, sa réalisation et sa caractérisation.. La conception et le développement des microcapteurs sont assurés par l'IM2NP, en relation étroite avec la société SETNAG. Le travail concerne aussi bien l'identification et le développement de la couche sensible qui sera intégrée au microsystème final, que le nouveau design du microcapteur.