Intégration 3D d'interposeurs submillimétriques fonctionnalisés à l'aide de nanotubes de carbone alignés verticalement

3D integration of functionalized submillimeter interposers using vertically aligned carbon nanotubes

• Auteur / Autrice : Ankit Kumar Verma
• Direction : Stéphane Bila, Philippe Coquet
• Type : Projet de thèse
• Discipline(s) : Sciences et ingénierie pour l'information
• Date : Inscription en doctorat le 30/01/2023
• Etablissement(s) : Limoges
• Ecole(s) doctorale(s) : Sciences et Ingénierie
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : XLIM
• Partenaire(s) de recherche : Equipe de recherche : XLIM SRF - Systèmes Radio-Fréquences

Mots clés

Mots clés libres

Hyperfréquences

Nano-électronique

Circuits et antennes

Microwaves

Nano-electronics

Circuits and antennas

Résumé

XLIM et CINTRA collaborent depuis 10 ans sur la conception et l'intégration de composants et de circuits submillimétriques exploitant des technologies à base de CNT. Les différents travaux menés en commun ont permis de développer et d'éprouver la technologie des CNT alignés verticalement pour l'encapsulation de composants, l'interconnexion et la réalisation de fonctions de base (guides d'ondes) à des fréquences au-delà de 100 GHz. Pour poursuivre ces travaux, nous souhaitons, dans le cadre de cette thèse, d'une part accompagner l'optimisation de la technologie de fabrication et de report des CNT alignés verticalement, et d'autre part, implémenter, à quelques centaines de GHz, de nouvelles fonctions telles que des filtres et des coupleurs, pour la réalisation d'interposeurs fonctionnalisés à l'aide de cette technologie.

XLIM and CINTRA have been collaborating for 10 years on the design and integration of sub-millimeter components and circuits using CNT-based technologies. The various joint works have made it possible to develop and test the technology of vertically aligned CNTs for the encapsulation of components, the interconnection and the realization of basic functions (waveguides) at frequencies beyond 100GHz. To continue this work, we wish, within the framework of this thesis, on the one hand to support the optimization of the technology of manufacture and transfer of the vertically aligned CNTs, and on the other hand, to implement, at a few hundred GHz, new functions such as filters and couplers, for the production of functionalized interposers using this technology.