MODÉLISATION PAR RÉSEAU DE NEURONES DE PROCÉDÉS DE MICRO‑FABRICATION 3D POUR APPLICATIONS OPTIQUES

NEURONAL NETWORK MODELLING OF 3D MICRO-MANUFACTURING PROCESS FOR OPTICAL APPLICATIONS

• Auteur / Autrice : Merlin Moreau
• Direction : Stéphane Bonnet
• Type : Projet de thèse
• Discipline(s) : MBS - Modèles, méthodes et algorithmes en biologie, santé et environnement
• Date : Inscription en doctorat le 17/10/2022
• Etablissement(s) : Université Grenoble Alpes
• Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale ingénierie pour la santé, la cognition, l'environnement
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (LETI)

Mots clés

Mots clés libres

Modélisation

Lithography 3D

Réseau de neuronnes

Micro-fabrication

Modelling

3D Lithography

Neuronal network

Micro-manufacturing

Résumé

La réalisation de micro-structure 3D est nécessaire pour fabriquer des éléments clés des dispositifs microélectroniques tels que les micro-lentilles pour les imageurs. Ces lentilles peuvent être fabriquées par fluage de résine ou par lithographie par niveaux de gris dite « grayscale ». La lithographie grayscale présente l'avantage de pouvoir couvrir un grand nombre de formes topographiques différentes en une seule étape de fabrication. La fidélité des formes ainsi obtenues par rapport à celles souhaitées dépend de la précision de la modélisation et de la stratégie d'optimisation du masque lithographique. La lithographie grayscale a été développée et soutenue ces 3 dernières années au LETI via une thèse CIFRE en collaboration avec STMicroelectronics. L'objectif est de poursuivre les travaux de fabrication d'objets 3D en orientant la méthode pour des applications optiques (imageurs, réseaux de diffraction) mais également pour la réalité augmentée. Ce travail de thèse sera concentré sur l'exploration de différentes méthodes de design et de préparation de données pour la réalisation du masque. En particulier, et ce afin de maximiser la fidélité de la lithographie, la pixellisation non régulière sur le masque ou des méthodes de résolution de problème inverse par réseau de neurones seront investigués. La modélisation du développement de la résine lors de l'étape de lithographie grayscale sera également un point crucial et essentiel de la thèse.

The greyscale lithography was developed and supported these 3 previous years by the LETI via a thesis in collaboration with STMicroelectronics. The objective is to continue these work on 3D object manufacturing by focusing the method on optical applications (imager, diffraction network) but also for augmented reality. This thesis work will be focused on the exploration of different design method and data preparation for the lithography mask realization. In particular, and due to maximize the fidelity of the lithography, the non-regular pixelization on the mask and inverse problem resolution by neuronal network will be investigated. The modelling of the resin development during the greyscale lithography step will also be a critical and essential point of the thesis.