Etude de la croissance et métrologie des impuretés dans les nanofils de silicium.
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Auteur / Autrice : | Wanghua Chen |
Direction : | Phillipe Pareige |
Type : | Projet de thèse |
Discipline(s) : | Physique |
Date : | Inscription en doctorat le 03/10/2008 Soutenance le 17/11/2011 |
Etablissement(s) : | Rouen |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ecole Doctorale Sciences Physiques, Mathématiques et de l'Information pour l'Ingénieur |
Partenaire(s) de recherche : | Equipe de recherche : GROUPE DE PHYSIQUE DES MATERIAUX |
Jury : | Président / Présidente : Pere Roca i cabarrocas |
Examinateurs / Examinatrices : Rodrigue Larde, Vladimir Dubrovskii | |
Rapporteur / Rapporteuse : Guido Schmitz, Daniel Bouchier |
Mots clés
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