Analyse chimique 3D pour les dispositifs avancés de la microélectronique
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Auteur / Autrice : | Robert Estivill |
Direction : | Didier Blavette |
Type : | Projet de thèse |
Discipline(s) : | Physique |
Date : | Inscription en doctorat le 12/11/2012 Soutenance le 01/03/2016 |
Etablissement(s) : | Rouen |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ecole Doctorale Sciences Physiques, Mathématiques et de l'Information pour l'Ingénieur |
Partenaire(s) de recherche : | Equipe de recherche : GROUPE DE PHYSIQUE DES MATERIAUX |
Jury : | Président / Présidente : Daniel Mathiot |
Examinateurs / Examinatrices : Adeline Grenier |
Mots clés
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