662 thèses pour SiH4

Etude par microscopie à effet tunnel du système SiH4-Si(111)7x7

par David Albertini sous la direction de Frank Salvan - Aix-Marseille 2

Utilisation des silanes (SiH4, Si2H6) comme sources de silicium dans les procédés de dépôts chimiques en phase vapeur à faible pression (LPCVD)

Dépôt de nitrure de silicium par photosensibilisation assistée par le Hg à 254 nm du NH3-SiH4 : modélisation et diagnostics de la phase gazeuse

Modélisation numérique de décharges contrôlées par barrières diélectriques à la pression atmosphérique : application à l'étude des précurseurs de poudres en mélange N2-N2O-SiH4

Etude expérimentale et modélisation du transfert de matière dans des décharges de Townsend à pression atmosphérique en mélange HMDSO-N2O-N2 et SiH4-N2O-N2

Etude d’une nouvelle décharge à barrière diélectrique homogène en mélange Ar/NH3/SiH4 à la pression atmosphérique pour le dépôt en continu de SiNx:H sur cellule photovoltaïque silicium

Contribution à la réalisation de spectromètres de saturation et d'absorption à deux photonspar laser à CO2 guide d'onde : Application aux molécules de SiH4 et SF6

Etude de la réactivité de mélanges NO/N2 sur des surfaces d'oxydes d'aluminium

Étude des niveaux vibrationnels excités de SiH2Cl2 et SiH4 ([DELTA]v(Si-H) = 3), CHF3 et CHD3 ([DELTA]v(C-H) = 5) par spectroscopie d'absorption intracavité laser

Elaboration de dispositifs MOS contenant des nanocristaux de silicium obtenus par PECVD pulsé

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