Etude et développement de microtechnologies sur substrat papier : application à la structuration d'AL2O3 poreux pour la faisabilité d'un capteur d'humidité
FR |
EN
Auteur / Autrice : | Mamadou Saliou Baldé |
Direction : | Philippe Combette |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Electronique |
Date : | Soutenance le 17/12/2013 |
Etablissement(s) : | Montpellier 2 |
Ecole(s) doctorale(s) : | Information, Structures, Systèmes (Montpellier ; École Doctorale ; 2009-2014) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Institut d'électronique et des systèmes (Montpellier) |
Jury : | Président / Présidente : Thierry Bretagnon |
Examinateurs / Examinatrices : Philippe Combette, Thierry Bretagnon, Rosaria Ferrigno, Hélène Debeda, Brice Sorli, Laetitia Gazagnes | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Rosaria Ferrigno, Hélène Debeda |
Résumé
FR |
EN
L'objectif premier de ce projet est la mise au point de procédés de fabrication microélectroniques/microtechnologiques compatibles avec l'utilisation d'un support papier. Pour cela, des techniques comme l'évaporation thermique sous vide, la photolithographie, l'électrodéposition et l'anodisation d'aluminium ont été développées et adaptées à ce support. Des bancs de caractérisations structurels, électriques et flexibles ont été aussi mis en œuvre pour étudier la fiabilité des couches déposées sur un tel substrat. En application, un capteur d'humidité à base d'oxyde d'aluminium flexible a été fabriqué et les tests en humidité ont montré d'excellents résultats permettant de valider le travail effectué.