Conception et fabrication de transistors à effet de champ à grille suspendue utilisables dans la détection d'espèces chimiques ou biologiques

Conception and fabrication of suspende gate field effect transistors to usable in the chemical or biological species detection

• Auteur / Autrice : Farida Bendriaa
• Direction : Tayeb Mohammed-Brahim
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique
• Date : Soutenance en 2005
• Etablissement(s) : Rennes 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Silicium -- Couches minces

Transistors à effet de champ

pH -- Mesure

ADN

Démodulation (électronique)

Résumé

Ce travail est consacré à la mise au point, par des procédés de la microtechnologie de surface, d'une structure à effet de champ, de type transistor, capable de détecter des espèces chimiques ou biologiques en solution. La première partie de ce travail est dédiée à l'optimisation du procédé technologique de fabrication de transistors à effet de champ au silicium, à grille suspendue, fonctionnant dans une ambiance aqueuse. La deuxième partie est consacrée aux applications de cette structure dans le domaine chimique pour la mesure du pH de solutions et dans le domaine biologique pour la reconnaissance de l'ADN et la détection de protéines.