Elaboration et exploitation d'un banc d'ellipsométrie à longueur d'onde variable, pour l'étude et la caractérisation de capacités MIS sur composés III-V

Design and working of an ellipsometric bench with variable wavelength for study and characterisation of mis capacitance on iii-v compounds

• Auteur / Autrice : Marc Juvin
• Direction : Jacques Joseph
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences. Électronique
• Date : Soutenance en 1985
• Etablissement(s) : Lyon 1
• Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : École Centrale de Lyon (1857-....)
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Jacques Joseph

Mots clés

Mots clés contrôlés

Alumine

MIS (électronique)

Ellipsométrie

Résumé

Les processus technologiques de fabrication des structures MIS sur InP, comportent généralement une étape de préparation du substrat, pendant laquelle on observe certaines modifications du matériau. Avec l'ellipsométrie spectroscopique, nous disposons d'un outil de caractérisation, capable d'analyser qualitativement et quantitativement une interface, à travers l'isolant déposé (Al2 O3). L'objet de ce travail est de présenter, après un rapide exposé des principes de base, la mise au point d'un banc automatique d'ellipsométrie spectroscopique, de type polariseur tournant. Une application à l'étude de la passivation de l'InP par un traitement thermique sous pression partielle d'Arsenic, est développée et montre une méthode de dépouillement des spectres à partir d'une modélisation simple à une ou deux couches.