Bernard Dulmet
Mots clés
FR |
EN
Oscillateurs à quartz
Ondes élastiques de surface
Quartz
Ondes élastiques
Piézoélectricité
Systèmes microélectromécaniques
Oscillateurs
MEMS
Résonateurs
Facteur de qualité
Niobate de lithium
Capteurs
HBAR
Oscillateur
Ondes acoustiques de surface
Gravure par faisceau d’ions focalisés (FBI)
Lithographie électronique
Lithographie par projection
PZT
Diamant nanocristallin