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des thèses françaises
Olivier Leroy
IdRefMots clés
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Plasmas microondes
Modèle fluide 1D
Décharges silane-hydrogène
Modèle sectionnel
Nanoparticules
Vitesse de dépôt
Vitesse de gravure
Méthode de découpage temporel
Plasmas (gaz ionisés)
Plasma micro-onde
Spectroscopie d'absoption
Couplage thermique
Spectroscopie d'émission
Bilan de puissance
Plasma en capillaires
Spectroscopie d'absorption
Limiteur de puissance microonde
Décharge plasma-microonde
Modélisation plasma
Onde de surface-onde de fuite