Jérôme Reche
Mots clés
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Microélectronique
Lithographie
Nanoimpression
Métrologie de reference
Technique de caractérisation
Fusion de données
Rugosité
Nanoparticules
Algorithmes optimaux
Rayons X
Submicronique
Structures 3D
Procédé de fabrication
Grayscale
Nanolithographie
Photonique
Lithographie par faisceau d'électrons
Métrologie hybride
Intelligence Artificielle
Réseau de neurones