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Wei-Zhen Yao

est l'auteur d'une thèse

Caractérisation mécaniques Condensateurs électriques Contraintes Contraintes résiduelle et intrinsèque Déformations Empilement de films minces Empilements lamellaires Gauchissement Homogénéisation Matériaux -- Comportement Microélectronique Modélisation par éléments finis Nanoindentation Plaquettes à gravure en semiconducteurs Propriétés mécaniques Propriétés thermomécaniques Silicium -- Couches minces Silicium -- Substrats Éléments finis, Méthode des

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Caractérisation mécaniques Condensateurs électriques Contraintes Contraintes résiduelle et intrinsèque Déformations Empilement de films minces Empilements lamellaires Gauchissement Homogénéisation Matériaux -- Comportement Microélectronique Modélisation par éléments finis Nanoindentation Plaquettes à gravure en semiconducteurs Propriétés mécaniques Propriétés thermomécaniques Silicium -- Couches minces Silicium -- Substrats Éléments finis, Méthode des

Wei-Zhen Yao a rédigé la thèse suivante :

Analyses thermomécaniques multi-échelles expérimentale et numérique pour des empilements de couches minces en microélectronique

par Wei-Zhen Yao sous la direction de Abdellah Tougui - Tours

Génie mécanique et productique

Soutenue le 20-06-2018

Thèse soutenue