Bernard Pelissier
Mots clés
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Spectroscopie de photoélectrons
Diélectriques
Microélectronique
Parxps
Métrologie en ligne
Profil chimique en profondeur
Couches minces
Meis
Spectroscopie des rayons X
Silicium -- Couches minces
Xps
Tension de seuil
High K metal gate
Transistors MOSFET
Tension de rupture
Matériaux diéléctriques à faible permittivité
SiOC:H
Fiabilité des matériaux diélectriques
Pénétration d’humidité
Courant de fuite