Catherine Marichy
Mots clés
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EN
Couches minces
Nitrure de bore
Atomic Layer Deposition
Ald
Cvd
Dépôt chimique en phase vapeur
Polymères de coordination
Metal-Organic Frameworks
Dépôt de couches atomiques
Modification post-synthèse
Infiltration en phase vapeur
Porphyrine
MOFs à métaux mixtes
Polymères
Metal-organic frameworks
Dépôt
BxC
Plasma
Carbure de bore
Pulvérisation cathodique