Fabien Deprat
Mots clés
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Intégration 3D séquentielle
Stabilité thermique
Tungstène
Siliciure
Fdsoi
BEOL intermédiaire
Transistors MOSFET
Siliciures
Ellipsométrie
Epitaxie
Alliage SiGe
Alliage carboné
Croissance sélective
Carbone substitutionnel et interstitiel
Transistor bipolaire à hétérojonction
Épitaxie
Transistors bipolaires à hétérojonctions