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Tatiana Novikova

a dirigé 3 thèses
a été rapporteur pour 3 thèses
a été membre de jury pour 1 thèse

Algorithmes optimaux Algèbre des matrices de Mueller Antennes nanoplasmoniques Biophysique Biopsie Cd-Sem 3d Diagnostique biomédical Diffusiométrie optique Décharges silane-hydrogène Désalignement Estimation de paramètres Faisceaux gaussiens Fusion de données Incertitude de mesure Incertitudes de mesure Lithographie Lithographie par faisceau d'électrons Lithographie par multi faisceaux d’électrons Machines à mesurer tridimensionnelles Mesure Mesure de désalignement par imagerie Microelectronique Microscopes électroniques à balayage Microélectronique Modèle fluide 1D Modèle linéaire Modèle sectionnel Modèles linéaires Modélisation Modélisation Monte Carlo Méthode de découpage temporel Métrologie Métrologie de reference Métrologie hybride Nanoparticules Nanostructures Optique -- Instruments Plasma Plasmas Plasmas froids Plasmas, Théorie cinétique des Polarimétrie de Mueller Precision Raccordement Rayons X Reconstruction 3D Rugosité Semiconducteurs Silane Silicium Simulation Simulation par ordinateur Spectroscopie de réflectance Technique Technique de caractérisation Traitement d'images Vitesse de dépôt Vitesse de gravure Épitaxie

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Algorithmes optimaux Algèbre des matrices de Mueller Antennes nanoplasmoniques Biophysique Biopsie Cd-Sem 3d Diagnostique biomédical Diffusiométrie optique Décharges silane-hydrogène Désalignement Estimation de paramètres Faisceaux gaussiens Fusion de données Incertitude de mesure Incertitudes de mesure Lithographie Lithographie par faisceau d'électrons Lithographie par multi faisceaux d’électrons Machines à mesurer tridimensionnelles Mesure Mesure de désalignement par imagerie Microelectronique Microscopes électroniques à balayage Microélectronique Modèle fluide 1D Modèle linéaire Modèle sectionnel Modèles linéaires Modélisation Modélisation Monte Carlo Méthode de découpage temporel Métrologie Métrologie de reference Métrologie hybride Nanoparticules Nanostructures

Tatiana Novikova a dirigé les 3 thèses suivantes :

Numerical and Experimental Studies of Pristine and Cluster containing Silane-Hydrogen Capacitively Coupled Plasmas Used for Silicon Epitaxial Growth

par Tinghui Zhang sous la direction de Tatiana Novikova et de Pere Roca i Cabarrocas . - Institut polytechnique de Paris

Physique

Soutenue le 13-10-2021

Thèse soutenue

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Studies of scattering and anisotropic media with Mueller polarimetry : towards digital histology and optical biopsy of tissue

par Hee ryung Lee sous la direction de Tatiana Novikova et de Enric Garcia-Caurel . - Institut polytechnique de Paris

Physique

Soutenue le 26-11-2020

Thèse soutenue

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Modeling of a silane-hydrogen plasma discharge including nanoparticle dynamics for photovoltaic applications.

par Jean-Maxime Orlac'h sous la direction de Pere Roca i Cabarrocas , Vincent Giovangigli et de Tatiana Novikova . - Université Paris-Saclay (ComUE)

Physique

Soutenue le 02-05-2017

Thèse soutenue

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Tatiana Novikova a été rapporteur des 3 thèses suivantes :

Développement d'une méthodologie adaptée à l'industrie microélectronique pour la reconstruction topographique par imagerie SEM à faisceau inclinable

par Charles Valade sous la direction de Cécile Gourgon , Maxime Besacier , Elodie Sungauer et de Jérôme Hazart . - Université Grenoble Alpes

Nanoélectronique et nanotechnologie

Soutenue le 13-03-2020

Thèse soutenue

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Métrologie avancée pour la lithographie par multi-faisceaux d’électrons

par Guido Rademaker sous la direction de Raluca Tiron et de Jonathan Pradelles . - Université Grenoble Alpes (ComUE)

Nanoélectronique et nanotechnologie

Soutenue le 09-12-2019

Thèse soutenue

Métrologie Hybride pour le contrôle dimensionnel en lithographie

par Nivea Griesbach schuch sous la direction de Maxime Besacier et de Jérôme Hazart . - Université Grenoble Alpes (ComUE)

Nano electronique et nano technologies

Soutenue le 27-10-2017

Thèse soutenue

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Tatiana Novikova a été membre de jury de la thèse suivante :

Nouvelle méthodologie hybride pour la mesure de rugosités sub-nanométriques

par Jérôme Reche sous la direction de Cécile Gourgon et de Patrice Gergaud . - Université Grenoble Alpes (ComUE)

Nanoélectronique et nanotechnologie

Soutenue le 15-10-2019

Thèse soutenue

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