Elaboration et caractérisation des films magnéto-électriques de Terfenol-D/PZT sur silicium à l'aide de nanofeuillets de Ca2Nb3O10
Auteur / Autrice : | Jacques junior Manguele |
Direction : | Gilles Poullain |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Chimie |
Date : | Soutenance le 24/03/2022 |
Etablissement(s) : | Normandie |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale physique, sciences de l’ingénieur, matériaux, énergie (Saint-Etienne du Rouvray, Seine Maritime) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux (Caen ; 1996-....) |
établissement de préparation : Université de Caen Normandie (1971-....) | |
Jury : | Président / Présidente : Ulrike Anne Lüders |
Examinateurs / Examinatrices : Gilles Poullain, Rachel Desfeux, Valérie Bouquet, Christophe Cibert, Nathalie Lemée | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Rachel Desfeux, Valérie Bouquet |
Mots clés
Résumé
Cette thèse porte sur l'intégration de films minces de composites magnétoélectriques ME (Terfenol-D/PZT) sur silicium. Des nanofeuillets de [Ca2Nb3O10]- (CNO) sont utilisés comme sous-couche de croissance et d'adhérence du platine (électrode inférieure) et du PZT sur SiO2/Si. Contrairement à la sous-couche de TiO2 habituellement utilisée, les nanofeuillets ont un faible coût, sont faciles à déposer par la méthode de Langmuir-Blodgett à température ambiante sans utiliser de techniques du vide. L’utilisation de nanofeuillets permet d’obtenir une bonne qualité cristalline et une texturation (111) de l’électrode inférieure de Pt à basse température (200°C), soit un gain de plus de 400°C par rapport à l’utilisation du TiO2, mais aussi de contrôler l’orientation ((111) ou (100)) du film de Pt. Ces mêmes nanofeuillets permettent de réduire de 50°C la température de dépôt des films de PZT sur Pt, par rapport à une sous-couche de TiO2, et d’obtenir une orientation (100) du PZT, plus endurante à la fatigue. Enfin, une nouvelle barrière de TiN a été introduite à l’interface Terfenol-D/PZT, permettant de limiter les diffusions, même après recuit du film de Terfenol-D à 450°C. Un coefficient ME de 80 mV/cm.Oe a été obtenu pour la première fois à cette température de recuit.