Intégration et auto-assemblage d’oxyde de zinc sur silicium pour la dosimétrie
Auteur / Autrice : | Samir Bouisri |
Direction : | Jérôme Boch |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Électronique |
Date : | Soutenance le 26/07/2021 |
Etablissement(s) : | Montpellier |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale Information, Structures, Systèmes (Montpellier ; 2015-....) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Institut d'électronique et des systèmes (Montpellier) |
Jury : | Président / Présidente : David Muñoz-Rojas |
Examinateurs / Examinatrices : Jérôme Boch, David Muñoz-Rojas, Marti GICH, Cathy Guasch, Adrián Carretero-Genevrier, Philippe Girones | |
Rapporteurs / Rapporteuses : David Muñoz-Rojas, Marti GICH |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Résumé
De nos jours, la diminution en taille des composants a fait rentrer le domaine de la micro-optoélectronique dans une nouvelle ère qui dépasse le cadre de la loi de Moore, qui prédit une croissance exponentielle du nombre de composants sur une puce électronique dans le temps. En effet, la miniaturisation des composants, qui a permis cette densification et ainsi l'augmentation du rapport performance sur coût de production des dispositifs, se heurte à des limites physiques où des effets quantiques apparaissent. Il devient donc capital, soit de s'affranchir de ces limites, soit de se diversifier à travers l'emploi de composants alternatifs. C'est dans ce second cadre, et afin de satisfaire les demandes technologiques de la société, que la diversification des fonctions des composants et leur intégration monolithique sur les plateformes de silicium, utilisées par l'industrie électronique, est devenue un enjeu majeur de cette nouvelle ère du "More than Moore". C'est fort de cette nécessité et dans ce contexte de diversification, que les oxydes fonctionnels occupent aujourd'hui une place de premier plan dans le domaine de l'innovation technologique. En effet, de par leur large spectre de propriétés physiques et chimiques, ces derniers trouvent leur place dans de nombreuses applications faisant de leur préparation un défi important dans le développement de matériaux. Nous avons montré, dans cette thèse, que nous étions capables de contrôler la croissance des microfils de ZnO en influant sur les paramètres de synthèse du quartz et ainsi sur le degré de mosaïcité de la couche tampon. Ce qui nous a permis de réaliser, pour la première fois, l’hétéroépitaxie et l'auto-assemblage de microfils de ZnO(110) sur substrat de Si(100) en utilisant une couche de quartz alpha(100) comme couche tampon. Cette orientation unique, qui permet de tirer parti de l’exposition des plans apolaires du ZnO, laisse entrevoir plusieurs applications parmi lesquelles figurent la dosimétrie, le guidage d’ondes optiques, la catalyse et la récupération d’énergie.