Détection et contrôle en temps réel du non-alignement des performances des chambres identiques dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs
Auteur / Autrice : | Aabir Chouichi |
Direction : | Galliam Claude Yugma |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Genie industriel |
Date : | Soutenance le 14/01/2020 |
Etablissement(s) : | Lyon |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ed Sis 488 |
Partenaire(s) de recherche : | établissement opérateur d'inscription : École nationale supérieure des mines (Saint-Etienne ; 1816-....) |
Laboratoire : Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC) / CMP-ENSMSE | |
Jury : | Président / Présidente : Philippe Castagliola |
Examinateurs / Examinatrices : Philippe Castagliola, Maurice Pillet, Laure Berti-Équille, Agnès Roussy, Jakey Blue, Francois Pasqualini | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Philippe Castagliola, Maurice Pillet |
Mots clés
Résumé
Dans toutes les industries manufacturières, les chambres mises en parallèles sur une même opération de production sont censées donner un résultat similaire et offrir des produits de qualité identique. Ceci n'est toutefois pas toujours le cas dans les unités de production.Le maintien d'une performance stable des chambres parallèles dans l'industrie des semi-conducteurs est un véritable défi car les machines traitent simultanément un grand nombre de produits dans le but de maximiser le rendement et optimiser l'utilisation des machines. Le travail de thèse consiste à proposer une méthodologie permettant de détecter et de corriger en temps réel ces différences de performance en exploitant toutes les données disponibles, utilisées habituellement de façon séparée, pour identifier les causes racines de toute différence significative entre les chambres traitant des produits identiques.L'approche proposée consiste d'abord à détecter les écarts existants entre les chambres parallèles en se référant aux mesures des paramètres physiques. Les données des capteurs sont ensuite analysées pour mettre en évidence les indicateurs causant ces écarts. Ces indicateurs sont ajustés grâce à un mécanisme de contrôle efficace composé de deux parties : La métrologie virtuelle et la régulation. Tout d'abord, l'impact du réglage des paramètres d'entrée des chambres sur la qualité des produits est modélisé. Les modèles créés sont ensuite utilisés pour mettre en œuvre des boucles de régulation dont le but est de faire correspondre les indicateurs source de variabilité, et compenser ainsi l'erreur de sortie.