Nouveau revêtement de protection pour composants résistifs à couches minces

New protective coating for resistive component for thin layer

• Auteur / Autrice : Catheline Cazako
• Direction : Karim Inal
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Mécanique numérique et Matériaux
• Date : Soutenance le 03/12/2019
• Etablissement(s) : Paris Sciences et Lettres (ComUE)
• Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Sciences fondamentales et appliquées (Nice ; 2000-....)
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Centre de mise en forme des matériaux (Sophia Antipolis, Alpes-Maritimes)
• Partenaire(s) de recherche : établissement de préparation de la thèse : École nationale supérieure des mines (Paris ; 1783-....)
• Jury : Président / Présidente : Christophe Vallée
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Karim Inal, Marie-Paule Besland, Yvon Cordier, Alain Burr
• Jury : Rapporteur / Rapporteuse : Hélène Fremont

Mots clés

Mots clés contrôlés

Nitrure de silicium

Mots clés libres

PECVD

Nitrure de silicium

PVD

Passivation

PECVD

Silicon nitride

PVD

Passivation

Résumé

L’élaboration d’une nouvelle couche de protection à base d’alcoxysilane a permis d’améliorer les conditions de conservation de composant électronique dans des milieux corrosif. Le mécanisme de détérioration a été mis en évidence grâce à l’élaboration d’un montage couplant l’observation microscopique avec l’évolution électrique et des analyses infra rouge. La synthèse électrochimique et son application par sérigraphie sont de nouveaux challenges qui devront être relevés.

The development of a new alkoxysilane-based protective layer has improved the conditions for storing electronic components in corrosive environments. The deterioration mechanism has been highlighted thanks to the development of an assembly coupling microscopic observation with electrical evolution and infrared analyzes. Electrochemical synthesis and its application by screen printing are new challenges that must be taken up.