TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2017VALE0018
TI  - Caractérisation du mouillage de surfaces micro/nanostructurées par méthode acoustique haute fréquence : application aux traitements humides dans l'industrie de la microélectronique
AU  - Virgilio, Christophe
A3  - Nongaillard, BertrandBroussous, LucileCampistron, Pierre; Carlier, Julien
PY  - 2017
N1  - Thèse de doctorat Électronique. Micro et nano technologie Valenciennes 2017
N1  - 2017VALE0018
UR  - http://www.theses.fr/2017VALE0018/document
ER  -