@PHDTHESIS{virgi2017, url = "http://www.theses.fr/2017VALE0018", title = "Caractérisation du mouillage de surfaces micro/nanostructurées par méthode acoustique haute fréquence : application aux traitements humides dans l'industrie de la microélectronique", author = "Virgilio, Christophe", year = "2017", note = "Thèse de doctorat dirigée par Nongaillard, BertrandBroussous, LucileCampistron, Pierre et Carlier, Julien Électronique. Micro et nano technologie Valenciennes 2017", note = "2017VALE0018", url = "http://www.theses.fr/2017VALE0018/document", }