Thèse soutenue

Elaboration de couches minces atténuantes en silicium poreux : Application aux transducteurs ultrasonores capacitifs micro-usinés

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Auteur / Autrice : Julie Lascaud
Direction : Gaël GautierDominique Certon
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Electronique
Date : Soutenance le 11/12/2017
Etablissement(s) : Tours
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....)
Partenaire(s) de recherche : Equipe de recherche : Laboratoire GREMAN (Tours)
Laboratoire : École polytechnique universitaire (Tours)
Jury : Président / Présidente : Daniel Alquier
Examinateurs / Examinatrices : Alessandro Savoia
Rapporteurs / Rapporteuses : Vladimir S. Lysenko, Corinne Déjous

Résumé

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Les transducteurs ultrasonores capacitifs micro-usinés (CMUT) représentent aujourd’hui une réelle alternative aux technologies piézoélectriques dans le domaine de l’imagerie échographique médicale. Au cours des années, les procédés de fabrication des transducteurs se sont enrichis en vue d’améliorer leurs performances. A contrario le choix du substrat, généralement en silicium, a été peu étudié. Il est cependant reconnu que le support contribue à la signature acoustique du dispositif ultrasonore. L’objectif de ces travaux de thèse a été d’intégrer une couche de silicium poreux afin d’absorber une partie des ondes élastiques qui se propagent dans le substrat et interfèrent avec le signal acoustique émis. Nous montrons alors qu’il été possible de réaliser une couche de silicium poreux en face arrière de composants, sur plaquettes 6 pouces, sans dégrader leurs performances. Finalement, par l’intermédiaire de caractérisations acoustiques et des signatures impulsionnelles des transducteurs, nous révélons le potentiel prometteur de ce matériaux pour la réalisation de milieu arrière atténuant dédié à la transduction ultrasonore.