Thèse soutenue

Caractérisation spectrale locale à l'aide de la microscopie interférométrique : simulations et mesures

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Auteur / Autrice : Rémy Claveau
Direction : Paul MontgomeryManuel Flury
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Electronique, microélectronique, photonique
Date : Soutenance le 08/12/2017
Etablissement(s) : Strasbourg
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg)
Jury : Président / Présidente : Henri Benisty
Examinateurs / Examinatrices : Denis Montaner
Rapporteurs / Rapporteuses : Arnaud Dubois, Maria-Pilar Bernal-Artajona

Résumé

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La microscopie interférométrique est une méthode de mesure qui repose sur l’acquisition et le traitement du signal issu de l’interaction de deux ondes, dites ondes « objet » et de « référence ». Ces ondes proviennent des réflexions de la lumière sur un miroir de référence et sur l’échantillon étudié. Bien qu’étant généralement utilisées pour les analyses topographiques ou tomographiques d’un échantillon, les données interférométriques peuvent être exploitées pour réaliser des caractérisations spectrales locales résolues dans les trois directions de l’espace. Dans ce projet, nous avons étudié les performances de cette technique ainsi que ses limitations lorsque l’échantillon se complexifie (dégradation du signal d’interférences). L’analyse a été appliquée à des matériaux réfléchissants pour des mesures en surface puis à des couches transparentes et diffusantes pour aller sonder le milieu en profondeur et extraire la réponse spectrale individuelle de structures localisées dans ce milieu.