Développement d'un banc ellipsométrique hyperfréquence pour la caractérisation de l'anisotropie des indices

Development of a microwave ellipsometric bench for the characterization of the anisotropy of indices

• Auteur / Autrice : Hassane gogo Ahmat idriss
• Direction : Bernard Bayard
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Optique Photonique Hyperfréquence
• Date : Soutenance le 11/07/2017
• Etablissement(s) : Lyon
• Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Sciences Ingénierie Santé (Saint-Etienne)
• Partenaire(s) de recherche : établissement opérateur d'inscription : Université Jean Monnet (Saint-Étienne ; 1969-....)
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire Hubert Curien (Saint-Etienne ; 1995-....)
• Jury : Président / Présidente : Tân-Phu Vuong
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Marie-Françoise Blanc-Mignon
• Jury : Rapporteur / Rapporteuse : Tân-Phu Vuong, Gérard Granet

Mots clés

Mots clés contrôlés

Matériaux

Anisotropie

Ellipsométrie

Micro-ondes

Mots clés libres

Micro-onde

Ellipsométrie

Méthode espace libre

Matériaux anisotropes

Calibrage One path Two ports

Microwave

Ellipsometry

Free space method

Anisotropic materials

Calibrage One path Two ports

Résumé

Pour caractériser des échantillons anisotropes non transparents afin de déterminer les indices de réfraction, nous utilisons un banc ellipsométrique hyperfréquence en espace libre fonctionnant en transmission et en incidence oblique. Le système de mesure est équipé d’un ellipsomètre à trois détecteurs et d'un analyseur de réseau vectoriel (VNA source de l’énergie). Son principe est basé sur la détermination du tenseur diagonal complexe. Cela nécessite la mesure des coefficients de transmission de l'échantillon. Un étalonnage du VNA est nécessaire pour obtenir les valeurs correctes de ces coefficients. La procédure d'étalonnage utilisée pour corriger les termes d’erreurs lié à la mesure est la méthode de calibrage One Path Two Ports. Nous travaillons sur une gamme de fréquence de 26 à 30 GHz.

To characterize non-transparent anisotropic samples in order to determine their refractive indices. The technic used is based on free-space oblique transmission ellipsometry in microwave frequency range (26 to 30 GHz) with a vector network analyzer (VNA). Its principle is based on the determination of complex diagonal tensor. Measurement of the sample transmission coefficients is required. Calibration of the network vector analyzer is needed to correct these coefficient values. The calibration method used to correct measurement errors is the method called One Path Two Ports.