Caractérisation de microtextures par la technique ACOM-TEM dans le cadre du développement des technologies avancées en microélectronique
Auteur / Autrice : | Alexia Valery |
Direction : | Edgar Rauch, Frédéric Lorut, Laurent Clement |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Matériaux, mécanique, génie civil, électrochimie |
Date : | Soutenance le 16/03/2017 |
Etablissement(s) : | Université Grenoble Alpes (ComUE) |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale Ingénierie - matériaux mécanique énergétique environnement procédés production (Grenoble ; 2008-....) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Science et ingénierie des matériaux et procédés (Grenoble) |
Jury : | Président / Présidente : Muriel Véron |
Examinateurs / Examinatrices : Alexander Eggeman, Thomas Lagrange | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Wolfgang Ludwig, Emmanuel Bouzy |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Résumé
Afin d’optimiser les composants de l’industrie de la microélectronique, il est essentiel d’établir le lien entre la texture cristallographique des matériaux constitutifs et leurs propriétés électriques, thermiques et mécaniques. Ainsi, il est nécessaire de disposer d’outils capables de cartographier la morphologie et l’orientation cristallographique des grains à l’échelle nanométrique. La technique ACOM, implémentée sur un Microscope Electronique en Transmission (MET), permet d’obtenir ces informations en exploitant les figures de diffraction électronique. Dans cette thèse, les capacités de cette technique sont évaluées, à la fois pour déterminer la microtexture de matériaux confinés dans quelques dizaines de nanomètres, et pour répondre aux problématiques associées à la fabrication de nouveaux circuits. Cette étude montre dans un premier temps l’importance de l’optimisation des conditions opératoires du MET afin de diminuer les erreurs d’indexation. Des analyses quantitatives de microtexture sont ensuite menées sur des films minces de siliciures de nickel-platine pour différents dopage du substrat, concentration en platine, et température de recuit. Enfin, le cas d’une superposition de signaux de diffraction observé lorsque plusieurs grains sont contenus dans l’épaisseur de l’échantillon est étudié. Les résultats montrent que les erreurs d’indexation restent rares dans ce cas et que les grains de plus large fraction volumique sont majoritairement sélectionnés par l’algorithme d’indexation. Une méthode est alors proposée pour traiter la totalité de l’information détectée dans les clichés de diffraction. Elle s’appuie sur l’indexation successive des orientations cristallographiques après soustraction préalable des réflexions associées à l’orientation précédemment indexée. Les capacités de cet outil en termes de caractérisation de la morphologie des grains superposés sont finalement comparées à deux autres techniques basées sur la reconstruction d’images en champ sombre et sur la factorisation en matrices non-négatives.