Applications of the constant pressure gas flowmeter ; metrological characterization and comparisons with reference methods for flow measurements from 4×10-12 mol/s to 4×10-7 mol/s
Applications du fluxmètre gazeux à pression constante ; caractérisation métrologique et comparaisons aux méthodes de référence pour les mesures de débit de 4×10-12 mol/s à 4×10-7 mol/s
Résumé
This dissertation concerns the development and applications of a constant pressure gas flowmeter, the primary reference instrument used by National metrology laboratories to measure very low gas flows. It guarantees the traceability of low absolute pressures, via the continuous expansion method, and that of helium leaks, both related to applications in the field of vacuum. In addition, we have shown that the Laboratoire commun de métrologie (LCM) constant pressure flowmeter is well suited to micro-flow measurements, a sub-field of flow metering. Besides key points of the design and metrological characterization, this document describes the study of the continuous expansion method and work on comparisons of the constant pressure gas flowmeter with reference methods used at LCM, in particular the dynamic gravimetric method.
Ce mémoire traite de la mise au point et des applications d’un fluxmètre gazeux à pression constante, instrument de référence primaire pour la mesure de très faibles débits gazeux, couramment utilisé par les Laboratoires nationaux de métrologie. Il intervient dans la traçabilité des basses pressions absolues, via la méthode d’expansion continue, et celle des fuites d’hélium, liées aux applications dans le domaine du vide. De plus, nous avons montré que le fluxmètre à pression constante du Laboratoire commun de métrologie (LCM) permettait le raccordement des mesures de micro-débits, sous-domaine de la débitmétrie. Outre les points clés de la conception et la caractérisation métrologique, ce mémoire décrit l’étude de l’expansion continue ainsi que les travaux de comparaison du fluxmètre gazeux à pression constante avec les méthodes de référence employées au LCM, en particulier la méthode de gravimétrie dynamique.
Origine : Version validée par le jury (STAR)