Multilayer monochromators for EUV and X-ray optics and the interface characterization

par Yuchun Tu

Thèse de doctorat en Chimie physique et chimie analytique

Sous la direction de Philippe Jonnard et de Jingtao Zhu.

Soutenue le 09-03-2015

à Paris 6 en cotutelle avec Tongji university (Shanghai, Chine) , dans le cadre de École doctorale Chimie physique et chimie analytique de Paris Centre (Paris ; 2000-....) , en partenariat avec Laboratoire de chimie physique-matière et rayonnement (Paris ; 1997-....) (laboratoire) .

Le jury était composé de Alain Dubois, Wanqi Jie, Li Zhao, Baozhong Mu, Jianfeng Sun, Xianglong Zeng.

mots clés

• Monochromateurs multicouche
• Optique des rayons X et extrême ultraviolet
• Interfaces
• Fluorescence X induite par ondes stationnaires
• Spectroscopie de résonance magnétique nucléaire
• Réflectivité des rayons X
• Monochromateurs
• Fluorescence induite par laser

Titre traduit

Monochromateurs multicouche pour les domaines des rayons X et de l'extrême ultra-violet et la caractérisation de leurs interfaces

Résumé

Dans cette thèse, nous avons étudié plusieurs combinaisons de matériaux et quelques méthodes d’ingénierie des interfaces : introduction de barrières de Zr dans les multicouches Co/Mg ; pulvérisation réactive des multicouches Co/Ti ; incorporation de B et C dans les multicouches Cr/Ti and remplacement de Mo par Mo2C dans le système Mo/B4C. Les propriétés des interfaces enterrées ont pu être étudiées en combinant XRR, XPS, TEM, etc. De plus, un modèle pour analyser les empilements a été développé en se basant sur la fluorescence X induite par ondes stationnaires. Pour les multicouches à base de Co, nous avons effectué des mesures RMN pour comprendre le comportement des atomes de cobalt dans les empilements. Ces méthodes se révèle des outils puissants pour analyser les multicouches sans dommages.

mots clés

• Multilayer monochromators
• Fluorescence by XSW

Résumé

In this thesis, we study several material combinations and some interface engineering methods...