Auteur / Autrice : | Florent Bernard |
Direction : | Patrick Delobelle, Christophe Rousselot, Laurent Hirsinger |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences pour l'ingénieur. Sciences des matériaux |
Date : | Soutenance le 08/01/2015 |
Etablissement(s) : | Besançon |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale Sciences pour l'ingénieur et microtechniques (Besançon ; 1991-....) |
Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : FEMTO-ST : Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies (Besançon) - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies |
Jury : | Président / Présidente : Lionel Buchaillot |
Examinateurs / Examinatrices : Patrick Delobelle, Christophe Rousselot, Laurent Hirsinger, Lionel Buchaillot, Daniel Bourgault, Etienne Patoor | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Daniel Bourgault, Etienne Patoor |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
De nos jours, l’essor de la miniaturisation est un paramètre clé pour la réalisation de microsystèmesde plus en plus complexes. Les recherches sur l’élaboration de matériaux « intelligents », onttoujours suscité un grand intérêt. Dans ce cadre, on se propose d’étudier l’alliage à mémoirede forme magnétique Ni2MnGa sous la forme de couche mince. Ce matériau a la propriétéparticulière de répondre aux sollicitations mécaniques, thermiques et magnétiques. Le couplage deces effets permettrait l’élaboration de micro-actionneurs usuellement réalisés à partir d’assemblagescomplexes. Cette étude pluridisciplinaire traite de l’influence des paramètres d’élaboration sur lespropriétés fonctionnelles des couches minces. L’originalité de ce travail de thèse réside dansl’emploi de substrats en silicium dans la perspective d’une transposition technologique. Un procédéd’élaboration par PVD a été qualifié afin d’obtenir un film aux propriétés AMF magnétique