TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2014MON20097
TI  - Impact des chimies de nettoyage et des traitements plasma sur les matériaux diélectriques à basse permittivité
AU  - Lépinay, Matthieu J.
A3  - Ayral, André; Rouessac, Vincent
PY  - 2014
N1  - Thèse de doctorat Chimie et physicochimie des matériaux Montpellier 2 2014
N1  - 2014MON20097
UR  - http://www.theses.fr/2014MON20097/document
ER  -