Thèse soutenue

Etude et développement de microtechnologies sur substrat papier : application à la structuration d'AL2O3 poreux pour la faisabilité d'un capteur d'humidité
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Auteur / Autrice : Mamadou Saliou Baldé
Direction : Philippe Combette
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Electronique
Date : Soutenance le 17/12/2013
Etablissement(s) : Montpellier 2
Ecole(s) doctorale(s) : Information, Structures, Systèmes (Montpellier ; École Doctorale ; 2009-2014)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Institut d'électronique et des systèmes (Montpellier)
Jury : Président / Présidente : Thierry Bretagnon
Examinateurs / Examinatrices : Philippe Combette, Thierry Bretagnon, Rosaria Ferrigno, Hélène Debeda, Brice Sorli, Laetitia Gazagnes
Rapporteurs / Rapporteuses : Rosaria Ferrigno, Hélène Debeda

Résumé

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L'objectif premier de ce projet est la mise au point de procédés de fabrication microélectroniques/microtechnologiques compatibles avec l'utilisation d'un support papier. Pour cela, des techniques comme l'évaporation thermique sous vide, la photolithographie, l'électrodéposition et l'anodisation d'aluminium ont été développées et adaptées à ce support. Des bancs de caractérisations structurels, électriques et flexibles ont été aussi mis en œuvre pour étudier la fiabilité des couches déposées sur un tel substrat. En application, un capteur d'humidité à base d'oxyde d'aluminium flexible a été fabriqué et les tests en humidité ont montré d'excellents résultats permettant de valider le travail effectué.