Etude et développement de microtechnologies sur substrat papier : application à la structuration d'AL2O3 poreux pour la faisabilité d'un capteur d'humidité

par Mamadou Saliou Baldé

Thèse de doctorat en Electronique

Sous la direction de Philippe Combette.

Le président du jury était Thierry Bretagnon.

Le jury était composé de Philippe Combette, Thierry Bretagnon, Rosaria Ferrigno, Hélène Debeda, Brice Sorli, Laetitia Gazagnes.

Les rapporteurs étaient Rosaria Ferrigno, Hélène Debeda.


  • Résumé

    L'objectif premier de ce projet est la mise au point de procédés de fabrication microélectroniques/microtechnologiques compatibles avec l'utilisation d'un support papier. Pour cela, des techniques comme l'évaporation thermique sous vide, la photolithographie, l'électrodéposition et l'anodisation d'aluminium ont été développées et adaptées à ce support. Des bancs de caractérisations structurels, électriques et flexibles ont été aussi mis en œuvre pour étudier la fiabilité des couches déposées sur un tel substrat. En application, un capteur d'humidité à base d'oxyde d'aluminium flexible a été fabriqué et les tests en humidité ont montré d'excellents résultats permettant de valider le travail effectué.

  • Titre traduit

    Study and development of microtechnologies on paper based substrat applied to the structuration of porous AL2O3 for humidity sensor +


  • Résumé

    The primary objective of this project is the implementation of microelectronics/microtechnology processes compatible with the use of paper-based substrate. For this purpose, techniques such as thermal vacuum evaporation, photolithography, electroplating and anodizing aluminum have been developed and adapted to this substrate. Structural, electrical and flexible characterizations benches have also been implemented to study the reliability of the layers deposited on such substrate. A moisture sensor based on flexible aluminum oxide was made and humidity tests have shown excellent results which validate the work.

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