Caractérisation, compréhension et modélisation de l'évolution des défauts induits par des cycles thermiques dans le silicium
Auteur / Autrice : | Julien Nicolaï |
Direction : | Bernard Pichaud, Nelly Burle-Durbec, Christophe Serafino |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences des matériaux, physique, chimie et nanosciences |
Date : | Soutenance le 10/05/2012 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille |
Ecole(s) doctorale(s) : | Ecole Doctorale Physique et Sciences de la Matière (Marseille) |
Jury : | Examinateurs / Examinatrices : Bernard Pichaud, Nelly Burle-Durbec, Christophe Serafino |
Rapporteurs / Rapporteuses : Daniel Alquier, Esidor Ntsoenzok |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Résumé
Le silicium est le matériau de prédilection de l'industrie de la microélectronique. L'augmentation du coût de celui-ci a donc incité les différentes industries à optimiser l'utilisation des plaquettes de silicium. La réutilisation de plaquettes (recyclage) est donc devenue monnaie courante : c'est le cas des plaquettes tests ou des plaquettes de type SOI. Le recyclage présente cependant des limites, en effet, au cours des cycles la qualité des plaquettes diminue plus ou moins rapidement. La compréhension des mécanismes de la dégradation des plaquettes lors de cycles de procédés est donc un enjeu important. Les procédés de recuit haute température sont connus pour être à la fois les plus répandus et les plus dégradants. Pour comprendre quels sont les phénomènes mis en jeu lors de tels cycles, un panel d'échantillons a subi différents nombres de cycles et a été étudié par diverses techniques. Le LST et la microscopie électronique en transmission ont tout particulièrement été utilisés, couplant ainsi des mesures globales de densités et dimensions de défauts à des mesures locales permettant de caractériser la nature des défauts et leur comportement à l'échelle nanométrique. L'évolution de la concentration en oxygène interstitiel dans le matériau, liée à la précipitation d'oxyde de silicium, a été mesurée par IRTF. Il a ainsi été montré que chaque cycle consistait en une étape de nucléation de défauts, principalement des précipités d'oxyde de silicium, et une étape de grossissement. La détermination de la morphologie, ainsi que de la stoechiométrie des précipités a été réalisée.