Thèse soutenue

Architecture système et conception électronique de réseaux de capteurs de masse à partir de micro et nanorésonateurs.
FR  |  
EN
Accès à la thèse
Auteur / Autrice : Grégory Arndt
Direction : Jérôme Juillard
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Electronique (STIC)
Date : Soutenance le 12/12/2011
Etablissement(s) : Supélec
Ecole(s) doctorale(s) : Ecole doctorale Sciences et Technologies de l'Information, des Télécommunications et des Systèmes (Orsay, Essonne ; 2000-2015)
Jury : Président / Présidente : Alain Bosseboeuf
Examinateurs / Examinatrices : Julien Arcamone, Rose-Marie Capella, Eric Colinet, Pascal Nouet
Rapporteurs / Rapporteuses : Philip Feng, Nuria Barniol

Mots clés

FR  |  
EN

Résumé

FR  |  
EN

Le sujet de thèse porte sur des micro/nanorésonateurs ainsi que leurs électroniques de lecture. Les composants mécaniques sont utilisés pour mesurer des masses inférieures à l'attogramme (10-18 g) ou de très faibles concentrations de gaz. Ces composants peuvent ensuite être mis en réseau afin de réaliser des spectromètres de masse ou des détecteurs de gaz. Afin d'atteindre les résolutions nécessaires, il a été choisi d'utiliser une détection harmonique de résonance détectant les variations de la fréquence de résonance d'une nanostructure mécanique. Les dimensions du résonateur sont réduites afin d'augmenter sensibilité en masse, cependant le niveau du signal électrique en sortie du composant est également réduit. Ce faible signal nécessite donc de concevoir de nouvelles transductions électromécaniques ainsi que des architectures électroniques qui minimisent le bruit, les couplages parasites et qui peuvent être mise en réseau.