Auteur / Autrice : | Thi Huyen Tram Pham |
Direction : | Éric Le Bourhis, Philippe Goudeau |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Milieux denses et matériaux |
Date : | Soutenance en 2011 |
Etablissement(s) : | Poitiers |
Mots clés
Résumé
Ce travail est consacré à l'étude systématique de films Al1-xCrxNy depuis leur production jusqu'à leur caractérisation structural et mécanique. Les films ont été synthétises à l'aide de deux systèmes PVD : pulvérisation par faisceau d'ion (IBS) et pulvérisation magnétron (MS). La composition des films est étudiée par EDXS et RBS, cette derrière permettant l'analyse des éléments légers tel que l’azote. La majorité des compositions sont sous- stoechiométriques avec une concentration en azote (y < 1) décroissant continûment lorsque la concentration de Chrome (x) croît. Ce résultat a été confirmé par des simulations TRIM. La structure et la morphologie des films (épaisseur, phase, texture, taille des nano-grains) ont été étudiées essentiellement par diffraction et réflectométrie des rayons X. Les contraintes résiduelles (global, in-situ et intra granulaire) ont été étudiées par la méthode de la courbure et diffraction X. Les résultats montrent l'importance tant de la composition (x, y) des films que du type de substrat. Deux techniques sensibles (l'acoustique picoseconde et la diffusion brillouin) ont été utilisées pour l'étude des propriétés élastiques et ont révélé, une transition abrupte à x = 0. 4. La technique de nano-indentation a été appliquée pour analyser le module d'indentation et la dureté. Des essais de tribologie ont permis de compléter l'étude par la détermination des coefficients de frottement (COF).