TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2011GRENY015
TI  - Analyse électrique de diélectriques SiOCH poreux pour évaluer la fiabilité des interconnexions avancées
AU  - Verriere, Virginie
A3  - Sylvestre, Alain
PY  - 2011
N1  - Thèse de doctorat Physique des matériaux Grenoble 2011
N1  - 2011GRENY015
UR  - http://www.theses.fr/2011GRENY015/document
ER  -