Mécanismes de collage direct de films de silicium polycristallin - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 2011

Study of polysilicon thin films molecular bonding mechanisms

Mécanismes de collage direct de films de silicium polycristallin

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Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Origine : Version validée par le jury (STAR)

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https://theses.hal.science/tel-01389104

Soumis le : mercredi 21 juin 2017-11:20:28

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:10

Archivage à long terme le : mardi 12 décembre 2017-10:41:16

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Dates et versions

tel-01389104 , version 1 (21-06-2017)

Identifiants

  • HAL Id : tel-01389104 , version 1

Citer

Romain Feilleux. Mécanismes de collage direct de films de silicium polycristallin. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2011. Français. ⟨NNT : 2011GRENI093⟩. ⟨tel-01389104⟩

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