Contribution à l'étude des structures passives verre-silicium dans le domaine millimétrique

Contribution to the study of glass-silicon passive millimeter structures

• Auteur / Autrice : Julien Emond
• Direction : Odile Picon
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Génie électrique, électronique, photonique et systèmes
• Date : Soutenance le 02/07/2010
• Etablissement(s) : Paris Est
• Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Mathématiques, Sciences et Technologies de l'Information et de la Communication (Champs-sur-Marne, Seine-et-Marne ; 2010-....)
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire électronique, systèmes de communication et microsystèmes
• Jury : Président / Présidente : Victor Fouad Hanna
• Jury : Examinateurs / Examinatrices : Odile Picon, Marjorie Grzeskowiak, Gaëlle Lissorgues, Frédérique Deshours
• Jury : Rapporteur / Rapporteuse : Tan Phu Vuong

Mots clés

Mots clés contrôlés

Circuits intégrés

Photonique

Verre

Électrotechnique

Silicium

Mots clés libres

Millimétrique

Verre-silicium

Ligne micro-ruban inversée

Ligne de Goubau

Transition coplanaire

Calibration LRM

Millimeter

Glass-silicon

Inverted microstrip line

Goubau line

Coplanar transition

LRM calibration

Résumé

Nous proposons dans cette thèse de nouvelles structures à faibles pertes en vue de leur utilisation dans les bandes millimétriques. L'hypothèse forte sur laquelle es t construite notre étude est que la présence du silicium permet d'envisager une intégration plus facile des circuits. Pour ce faire nous avons étudié les caractéristiques électriques des lignes inversées silicium-verre à 60 GHz ainsi que la ligne de Goubau sur silicium aux mêmes fréquences. Nous nous sommes focalisés sur l'étude des pertes des lignes. Les simulations présentées jusqu'à 60 GHz ont montré que les qualités de la technologie verre-silicium sont bonnes en termes de paramètres hyperfréquences. Nous proposons donc d'utiliser plutôt le verre pour la partie passive et le silicium pour la partie active. Nous montrons ainsi que cette technologie admet la réalisation des fonctions diverses et qu'elle est susceptible de permettre l'obtention de systèmes intégrés

We propose in this thesis several new structures with low loss for use in millimeter bands. The strong supposition with which is built our study is : the presence of silicon can be considered easier integration of circuits. That the reason why we have been studied the electrical characteristics of glass-silicon lines inverted at 60 GHz and the Goubau line on silicon with the same frequencies. We focus our attention on these studies of losses in lines. The simulations up to 60 GHz showed the qualities of the glass-silicon technology are good in terms of microwave parameters. So we propose to use glass for the passive and silicon for the active part. And we show that this technology allows the realization of various functions and is likely to allow the acquisition of integrated systems