Microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium modi?ées à l’aide de matériaux inorganiques microporeux
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Auteur / Autrice : | Sébastien Tétin |
Direction : | Isabelle Dufour Dabadie, Claude Pellet |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Electronique |
Date : | Soutenance le 14/12/2009 |
Etablissement(s) : | Bordeaux 1 |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde ; 1995-....) |
Jury : | Examinateurs / Examinatrices : Marie-Claire Certiat, Elisabeth Dufour-Gergam |
Rapporteurs / Rapporteuses : Gaëlle Lissorgues, Liviu Nicu |
Mots clés
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Résumé
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Afin d'optimiser l'utilisation des micropoutres en tant que capteurs chimiques, de nouvelles couches sensibles à base de matériaux microporeux ont été testées pour la détection d'humidité, de toluène et d'éthanol. Des essais sans couches sensibles ont aussi été effectués et des modèles simples ont été mis au point afin de prédire la réponse des micropoutres lors d'un changement d'environnement. Ces études ont donc permis la mise en oeuvre des micropoutres selon deux principes de détections différents: l'un reposant sur la variation de masse du capteur à base de micropoutre lors de l'absorption de composé par une couche sensible; l'autre reposant sur la détection de changements de propriétés physiques du fluide environnant.