Thèse soutenue

Physique de l’évaporation par effet de champ du silicium sous éclairement Laser ultra court : application à la sonde atomique
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Auteur / Autrice : Matthieu Gilbert
Direction : Bernard Deconihout
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique. Sciences des matériaux
Date : Soutenance en 2008
Etablissement(s) : Rouen

Mots clés

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Résumé

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La sonde atomique est un microscope analytique donnant la distribution tridimensionnelle d’ions identifiés par spectrométrie de masse à temps de vol. Cet instrument pourrait jouer un rôle important dans le domaine de la microélectronique par l’utilisation d’impulsions Laser femtosecondes. Ce travail de thèse est la seconde étape du développement de ce nouvel l’instrument. Nous discutons des différents mécanismes pouvant conduire à l’ionisation des atomes de silicium. Nous montrons que la durée d’émission est un paramètre important. Elle est mesurée par un dispositif de mesure pompe sonde. Le cœur de ce travail porte sur la physique de l’évaporation du silicium. Nous avons mis au jour un mécanisme de photo ionisation résonnante, un mécanisme d’évaporation par redressement du champ optique et un mécanisme d’ionisation par échauffement. Chacun de ces mécanismes est discuté en fonction des observations expérimentales. Enfin, un scénario, basé sur la dynamique des porteurs est proposé.