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des thèses françaises
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Mesure directe et non destructive de la distribution de charges d'espace à l'échelle nanométrique dans les isolants et les semi-conducteurs : application à la microélectronique
| Auteur / Autrice : | Gulnar Dagher |
| Direction : | Jacques Lewiner |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Sciences Mécaniques. Acoustique. Electronique |
| Date : | Soutenance en 2008 |
| Etablissement(s) : | Paris 6 |
Résumé
Les isolants et les semi-conducteurs sont les principaux constituants des circuits intégrés, dont les performances croissantes sont notamment dus à la miniaturisation des composants, mais au prix d’une plus grande vulnérabilité : un champ électrique élevé favorise l’accumulation de charges, modifiant les caractéristiques du composant. Au contraire, les charges introduites par dopage contribuent à son bon fonctionnement. Pour une connaissance précise du profil de charges dans les isolants et les semi-conducteurs, un instrument de mesure directe et non destructive à l’échelle nanométrique est alors étudié dans ce mémoire. Une implémentation fondée sur une méthode pompe-sonde utilisant un laser femtoseconde permet d’obtenir une résolution spatiale inférieure à 50 nm. Une détection interférométrique ou électro-optique et l’accumulation d’un grand nombre de mesures sont nécessaires pour améliorer les signaux. Des mesures valident les premières étapes de la réalisation expérimentale.