Sonde nanométrique d'ions réactifs
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Auteur / Autrice : | Olivier Salord |
Direction : | Pierre Sudraud |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences des matériaux |
Date : | Soutenance en 2008 |
Etablissement(s) : | Aix-Marseille 2 |
Ecole(s) doctorale(s) : | École Doctorale Physique et Sciences de la Matière (Marseille) |
Mots clés
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Résumé
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Cette thèse présente la réalisation et la caractérisation d'une source ponctuelle d'ions réactifs destinée aux systèmes FIB et SIMS. Cette nouvelle source nommée MiMICIS (Microscopic Liquid Ionic Compoud Ion Source) associe une brillance élevée et la possibilité d'émettre des espèces ioniques réactives. Le MiLICIS utilise pour matériau ionisable un mélange de sels fondus. [. . . ]